Index
ورود کاربر
Telegram RSS ارسال به دوستان نسخه چاپی ذخیره خروجی XML خروجی متنی خروجی PDF
کد خبر : 154192
تاریخ انتشار : 23 اسفند 1389 0:0
تعداد مشاهدات : 96

به همت پژوهشگران جهاد دانشگاهي

كاتد كندوپاش مگنترون در كشور طراحي و ساخته شد

طرح بهينه سازي كاتد مگنترون RF اسپاترينگ به منظور بهبود مشخصات فني كاتد اسپاترينگ موجود ساخت مركز فناوري خلأ بالاي جهاد دانشگاهي در گروه پژوهشي فناوري خلأ بالا جهاد دانشگاهي صنعتي شريف اجرا شد...
خبرگزاري دانشجويان ايران - تهران: طرح بهينه سازي كاتد مگنترون RF اسپاترينگ به منظور بهبود مشخصات فني كاتد اسپاترينگ موجود ساخت مركز فناوري خلأ بالاي جهاد دانشگاهي در گروه پژوهشي فناوري خلأ بالا جهاد دانشگاهي صنعتي شريف اجرا شد. به گزارش سرويس فناوري ايسنا، به گفته محققان در اين طرح براي اولين بار در كشور از نرم افزار ANSYS براي شبيه سازي ميدان مغناطيسي كاتد استفاده شده است. با شناخت صحيح از محدوديت ها و قابليت هاي فيزيكي و تكنولوژيكي موجود، طرح ابتدا به صورت مجازي به كمك نرم افزار بهينه سازي و با ملاحظات مهندسي پياده سازي شد و مورد آزمايش هاي متعدد قرار گرفت. پارامترهاي كمي مورد بررسي شامل شدت ميدان مغناطيسي در سطح كاتد، حداكثر توان، حداكثر آهنگ لايه نشاني، ميزان استفاده مفيد از هدف، ميزان ايزولاسيون الكتريكي و مشخصات كيفي مورد بررسي شامل سهولت مونتاژ و دمونتاژ، پايداري پلاسما، سهولت ساخت قطعات، قدرت خنك كنندگي هدف و كاهش وزن كاتد هستند. كاتد ساخته شده با طرح بهينه، داراي توان بيش از يك كيلو وات در فشار كمتر از 50 ميلي تور، آهنگ لايه نشاني نزديك به 20 نانومتر در ثانيه است. اين كاتد با مولد RF و مدار تطبيق امپدانس در قدرت 600 وات نيز به خوبي كار مي كند و محدوده تطبيق وسيعي در توان 200 وات مشاهده مي شود. نتايج اين طرح در قالب مقاله اي با عنوان «طراحي و ساخت يك كاتد كندوپاش مگنترون با استفاده از شبيه سازي ميدان مغناطيسي و بررسي نرخ لايه نشاني» توسط مصطفي سلحشور، كارشناس پلاسماي گروه پژوهشي فناوري خلأ، كوروس حمزه و علي اصغر زواريان از اعضاي هيات علمي جهاد دانشگاهي صنعتي شريف در نشريه علمي پژوهشي «علوم و مهندسي سطح» انجمن علوم و تكنولوژي سطح ايران منتشر مي شود.