Index
ورود کاربر
Telegram RSS ارسال به دوستان نسخه چاپی ذخیره خروجی XML خروجی متنی خروجی PDF
کد خبر : 157595
تاریخ انتشار : 29 مهر 1390 0:0
تعداد مشاهدات : 105

دكتر مهاجر زاده، مديرعامل شركت سازنده دستگاه زدایش عمیق یونی

دستگاه زدايش عميق يوني با فناوري پيشرفته ساخته شد

محققان يك شركت دانش بنيان موفق به طراحي و ساخت دستگاه زدايش عميق يوني (Deep Reactive lon Etching) شدند كه با استفاده از گاز هيدروژن و اكسيژن به جاي يك نوع پليمر كه در دستگاه هاي مشابه خارجي وجود دارد مي تواند به عنوان يك سامانه سازگار با محيط زيست عمل كند...
خبرگزاري دانشجويان ايران - تهران: محققان يك شركت دانش بنيان موفق به طراحي و ساخت دستگاه زدايش عميق يوني (Deep Reactive lon Etching) شدند كه با استفاده از گاز هيدروژن و اكسيژن به جاي يك نوع پليمر كه در دستگاه هاي مشابه خارجي وجود دارد مي تواند به عنوان يك سامانه سازگار با محيط زيست عمل كند. دكتر شمس الدين مهاجر زاده، عضو هيات علمي دانشكده مهندسي برق و كامپيوتر دانشگاه تهران و مديرعامل شركت سازنده اين دستگاه در گفت وگو با خبرنگار فناوري ايسنا با بيان اينكه امروزه پيشرفت هاي زيادي در زمينه ماشين كاري فلزات و سراميك ها حاصل شده است كه عمدتا توسط دستگاه هاي پيشرفته رايانه يي معروف به CNC انجام مي گيرد، افزود:علي رغم پيشرفت هاي زيادي كه در اين حوزه صورت گرفته، ايجاد ساختارهايي با ابعاد نزديك به ميكرومتر و بلكه چند نانومتر قابل تصور نبوده و به ابزارها و ماشين هاي خاصي نياز دارد كه بسيار گران قيمت بوده و از نظر سطح فناوري در محدوده High-tech قرار مي گيرند. در اين صورت نياز به استفاده از برش هاي پلاسمايي با دقت بسيار بسيار بالا وجود دارد كه در تركيب با تكنيك هاي ليتوگرافي (حكاكي) عملي است. وي افزود: دستگاه ارائه شده يك ماشين زدايش عمودي و عميق و بسيار دقيق پلاسمايي است كه با استفاده هوشمندانه از گازهاي مختلف مانند هيدروژن، اكسيژن و گازهاي ديگر كه خوردنگي بالايي دارند مانند SF6 مي توان به ساختارهايي با نسبت منظر بسيار بالا دست يافت. مهاجر زاده تصريح كرد: اساسا در اين دستگاه بعد از قرار گرفتن نمونه و ايجاد خلا مناسب، گازهاي مناسب به صورت پشت سرهم (Sequential) وارد شده و مقدار آنها توسط قطعات دقيق كنترل مي شود. وي با بيان اينكه معمولا بستر نمونه استفاده شده در دستگاه از جنس سيليكان (سيلسيوم) است، تصريح كرد: در فرآيند كار دستگاه، گازهاي اكسيژن و هيدروژن نقش خنثي سازي را انجام مي دهند در صورتي كه گازي خورنده مانند هگزا فلوئور سولفور نيز عمل لايه برداري را انجام خواهد داد. ميزان پيشروي كلي بستگي به شرايط دارد و در حد 0.5 تا دو ميكرومتر بر دقيقه است كه نوعي ركورد براي قطعات نانومتري و زير ميكرومتري محسوب مي شود. مهاجر زاده با اشاره به اينكه پمپ هاي مكانيكي دستگاه عمل خلا و تخليه سريع گازها را انجام مي دهند، خاطرنشان كرد: پلاسماي فركانس راديويي دستگاه توسط يك ژنراتور با فركانس 13.5 مگاهرتز عملي مي شود. سيستم به صورت دائم توسط رايانه كنترل شده و فشار ميزان پلاسما و زمان هر پله از كار نيز قابل برنامه ريزي است. وي تصريح كرد: با بهره گيري از اين دستگاه علاوه بر لايه برداري عمودي امكان لايه برداري سه بعدي و گاهي زير زدايش نيز وجود دارد. دستگاه قابليت توليد انبوه داشته و مي تواند يكي از مهمترين دستگاه ها در حوزه ساخت MEMS مطرح شود. مهاجرزاده در گفت و گو با ايسنا خاطرنشان كرد: نوع مشابه اين دستگاه كه توسط شركت بوش آلمان توليد مي شود از پيچيدگي خاصي برخورداراست و از نظر هزينه و گازهاي مورد استفاده به مراتب گرانتر و در حدود هشت برابر قيمت دستگاه داخلي است. دستگاه داخلي با قيمتي كمتر از 100 هزاردلار عرضه خواهد شد. وي با بيان اينكه اقداماتي براي ورود اين دستگاه به بازارهاي جهاني در دست انجام است، افزود:عدم استفاده از نوعي پليمرهاي خاص كه در نوع آلماني آن مورد استفاده قرار مي گيرد سبب شده است كه اين سامانه به عنوان يك سامانه سازگار با محيط زيست نيز مطرح باشد. مهاجر زاده خاطرنشان كرد: دستگاه زدايش عميق يوني بيشترين كاربرد را در ادوات و سامانه هاي ريزماشين كاري الكترومكانيكي و صنايع الكترونيكي، خودرو سازي به خصوص در ساخت سنسور ايربك و سنسور انژكتور خودرو و شتاب سنج ها دارد. در حال حاضر با توجه به نبود صنعت ساخت اين سنسورها در كشور تنها مراكز تحقيقاتي دانشگاهي متقاضي آن هستند.